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The Carlo Gavazzi Group

Maschinen für die Halbleiterindustrie

Diffusionsöfen

Dreiphasige Heizungsschaltung mit Halbleiterschützen

Um eine präzise Temperatur in Öfen aufrechtzuerhalten, müssen die Heizelemente ständig ein- und ausgeschaltet werden. Solche hochfrequenten Schaltvorgänge können dazu führen, dass elektromechanische Schütze vorzeitig ausfallen, was hohe Wartungskosten und Maschinenstillstandszeiten zur Folge hat.
RGC2A und RGC3A sind Halbleiterschütze, die für das Schalten von 3-Phasen-Heizelementen ausgelegt sind. Das RGC2A schaltet zwei Pole, während das RGC3A alle drei Pole schaltet und damit gewährleistet, dass alle Phasenströme vollständig ausgeglichen sind. RGC2A und RGC3A können sowohl mit einem PWM-Signal als auch mit einem AC-Steuersignal gesteuert werden und haben eine Ansprechzeit von einem Netzzyklus. Dank ihres Halbleiterdesigns ist die Lebensdauer von RGC2A und RGC3A deutlich höher, was zu geringeren Maschinenstillstandszeiten und einer Reduzierung der Wartungskosten führt.

Dreiphasen-Solid-State-Relais für Heizungsschaltungen zur Schalttafelmontage

Ein weiteres, in den Diffusionsöfen häufig verwendetes Produkt ist der RZ3A. Der RZ3A schaltet alle 3-Pole und hat ein flacheres mechanisches Design, wodurch er sich für Platten mit begrenzter Tiefe eignet.
Der RZ3A kann je nach den Betriebsbedingungen direkt an einer Platte oder auf einem Kühlkörper montiert werden. Für die richtige Dimensionierung des Kühlkörpers hilft Ihnen unser Online-Kühlkörperauswahltool, die richtige Kühlkörpergröße für Ihre Anwendung zu finden.

Feinere Heizungssteuerung mit Proportionalreglern (SCRs)

Proportionalregler, auch bekannt als SCR oder Leistungsregler, bieten eine feinere Auflösung bei Heizungsregelungsanwendungen, bei denen eine präzise Temperatur erforderlich ist.
Die Heizleistung kann direkt über einen Analogeingang moduliert werden, der den SCRs zugeführt wird, und die Ausgangsspannung an der Heizung ändert sich proportional.
Unser Angebot an Proportionalreglern umfasst Hockey-Pucks (RM1E) sowie 1-, 2- und 3-polige Versionen für die DIN-Schienenmontage (RGC1P, RGC2P und RGC3P).