Apparecchiature per la deposizione di vapore (ALD, CVD, PECVD)

I processi critici richiedono un rapido feedback in tempo reale delle diverse variabili di processo. Quando sono coinvolti diversi elementi di riscaldamento, l'uso di trasduttori esterni per monitorare la corrente può richiedere molto spazio sul pannello e tempo di cablaggio. NRG è una soluzione scalabile di relè a stato solido che funziona con un design a catena di bus. Ogni relè a stato solido e/o contattore a stato solido è dotato di una misurazione integrata della corrente e della tensione, nonché di altri parametri rilevanti. Tutti questi dati vengono scambiati in tempo reale con un controllore principale, NRGC, che costituisce l'interfaccia principale con il PLC della macchina. Sono disponibili diversi protocolli, tra cui EtherCAT, EtherNet/IP, Modbus TCP/IP e Profinet. La diagnostica intelligente, come la deviazione del carico, può anche evidenziare la deviazione del riscaldatore da un valore impostato, prevedendo così un possibile guasto del riscaldatore.

I regolatori proporzionali, noti anche come SCR, eliminano l'onere di convertire i segnali analogici delle termocoppie in segnali digitali (PWM). Una corrente analogica (0-20 mA, 4-20 mA) o una tensione analogica (0-10 VCC) può essere immessa direttamente all'ingresso di controllo dell'RGC1P, RGC2P o RGC3P e la tensione in uscita al riscaldatore varierà proporzionalmente. Questo metodo di controllo consente di ottenere una strategia di controllo molto precisa, che riduce al minimo le eccedenze di temperatura.
Un'altra caratteristica della famiglia RGC.P è la funzione di avvio graduale. L'avvio graduale è ideale per le applicazioni che utilizzano riscaldatori a infrarossi a onde corte (SWIR), in quanto riduce di oltre il 40% la corrente di spunto iniziale che si verifica quando i riscaldatori SWIR vengono accesi da uno stato freddo.

Le apparecchiature di deposizione sono in genere dotate di una serie di elementi riscaldanti monofase. I contattori a stato solido RGC hanno un design elegante e compatto per ridurre al minimo l'occupazione di spazio nel quadro elettrico.
La serie RGC è disponibile in due diverse configurazioni di terminali: quella a "E", che imita la configurazione di un contattore elettromeccanico, e quella a "U", detta anche configurazione a relè, poiché i terminali di carico si trovano sullo stesso lato del contattore a stato solido. La configurazione a "U" è talvolta preferita in quanto consente una migliore distribuzione dei cavi nel quadro.

La rottura del riscaldatore o la fuga termica, dovuta a un cortocircuito del riscaldatore, sono due problemi critici nella maggior parte dei processi termici. Un riscaldatore aperto provoca un calo di temperatura all'interno della zona, mentre un riscaldatore in cortocircuito provoca una zona di riscaldamento incontrollata che può causare difetti significativi ai wafer e costi elevati di scarto.
La serie di relè e contattori a stato solido RGC1S integra il monitoraggio della corrente per rilevare i guasti del riscaldatore. Basato su una funzione di "autoapprendimento", l'RGC1S confronta la corrente misurata con quella memorizzata durante la funzione di "autoapprendimento" e verifica eventuali scostamenti di corrente per un massimo di 6 riscaldatori collegati al relè.

I processi di deposizione possono anche richiedere elementi di riscaldamento con una potenza relativamente bassa (da 500W a 750W circa) e quindi una corrente di commutazione molto bassa. La serie di relè a stato solido RP1A è progettata in un involucro molto sottile (10,5 mm) e può essere montata direttamente su un circuito stampato oppure, con l'accessorio opzionale, può essere montata su guida DIN, ottenendo una soluzione plug and play che occupa uno spazio minimo.

I processi di produzione dei wafer di silicio consumano una quantità considerevole di energia elettrica. Con un'attenzione sempre maggiore all'efficienza energetica, i contatori di energia vengono sempre più integrati nelle apparecchiature per semiconduttori per consentire il monitoraggio energetico dell'intera apparecchiatura.
I nostri misuratori per montaggio su guida DIN sono dotati sia di connessione esterna con trasformatore di corrente (CT) che di ingressi basati su connessione diretta. La gamma di misuratori per guida DIN è caratterizzata da dimensioni compatte e facilità d'uso. Sono disponibili misuratori di energia sia monofase che trifase.

La serie di analizzatori di potenza WM ha un design modulare che consente agli utenti di selezionare le funzioni richieste aggiungendo uno o più moduli all'unità base WM. WM20, WM30 e WM40 possono essere installati in qualsiasi quadro elettrico per controllare il consumo di energia, le principali variabili elettriche e la distorsione armonica. I moduli plug-in includono moduli di comunicazione come Modbus RTU, Modbus TCP/IP.

Gli alimentatori switching sono un elemento cruciale per l'alimentazione della maggior parte dei componenti critici all'interno del quadro elettrico di qualsiasi apparecchiatura a semiconduttori.
La serie SPDC di alimentatori per montaggio su guida DIN offre una serie di caratteristiche uniche, come il design ultrasottile, il PFC integrato e l'efficienza fino al 96%.
Gli alimentatori switching possono lavorare su un'ampia gamma di tensioni di ingresso, mantenendo una tensione CC di uscita molto stabile, per assicurarsi che tutti i componenti critici come i PLC e gli HMI siano alimentati in modo sicuro.