Équipement de dépôt en phase vapeur (ALD, CVD, PECVD)

Les processus critiques nécessitent un retour d'information rapide et en temps réel des différentes variables du processus. Lorsque plusieurs éléments chauffants sont impliqués, l'utilisation de transducteurs externes pour surveiller le courant peut prendre beaucoup de place sur le panneau et de temps de câblage. Le NRG est une solution de relais statique évolutive qui fonctionne sur la base d'une chaîne de bus. Chaque relais statique et/ou contacteur statique dispose d'une mesure intégrée du courant et de la tension, ainsi que d'autres paramètres pertinents. Toutes ces données sont échangées en temps réel avec un contrôleur principal, le NRGC, qui constitue l'interface principale avec l'automate de la machine. Différents protocoles sont disponibles, notamment EtherCAT, EtherNet/IP, Modbus TCP/IP et Profinet. Des diagnostics intelligents, tels que l'écart de charge, peuvent également mettre en évidence l'écart du chauffage par rapport à une valeur définie, ce qui permet de prévoir une éventuelle défaillance du chauffage.

Les régulateurs proportionnels, également connus sous le nom de SCR, éliminent le fardeau de la conversion des signaux analogiques provenant des thermocouples en signaux numériques (PWM). Un courant analogique (0 - 20 mA, 4 - 20 mA) ou une tension analogique (0 - 10 VDC) peut être envoyé directement à l'entrée de contrôle du RGC1P, RGC2P ou RGC3P et la tension de sortie vers l'appareil de chauffage variera proportionnellement. Cette méthode de contrôle permet d'obtenir une stratégie de contrôle très fine qui minimise les dépassements de température.
Une autre caractéristique de la famille de produits RGC.P est la fonction de démarrage progressif. Le démarrage progressif est idéal pour les applications utilisant des radiateurs infrarouges à ondes courtes (SWIR), car il réduit de plus de 40 % le courant d'appel initial qui se produit lorsque les radiateurs SWIR sont mis en marche à partir d'un état froid.

Les équipements de dépôt comportent généralement une série d'éléments chauffants monophasés. Les contacteurs à semi-conducteurs RGC se présentent sous une forme élégante et compacte afin de minimiser l'espace occupé dans le panneau électrique.
La série RGC se décline en deux configurations de bornes différentes, à savoir le "type E", qui imite la configuration d'un contacteur électromécanique, et le "type U", également appelé configuration de relais, car les bornes de charge se trouvent du même côté que le contacteur statique. Le "type U" est parfois préféré car il permet une meilleure distribution des câbles dans le panneau.

Une rupture de l'élément chauffant ou un emballement thermique, dû à une défaillance de l'élément chauffant, sont deux problèmes critiques dans la plupart des processus thermiques. Une défaillance de l'élément chauffant ouvert entraîne une baisse de température dans la zone, tandis qu'une défaillance de l'élément chauffant court-circuité entraîne une zone de chauffage incontrôlée qui peut provoquer des défauts importants sur les plaquettes et des coûts élevés de mise au rebut.
La série de relais et de contacteurs à semi-conducteurs RGC1S intègre la surveillance du courant pour détecter les défaillances de l'élément chauffant. Basé sur une fonction d'apprentissage, le RGC1S compare le courant mesuré à celui stocké pendant la fonction d'apprentissage et vérifie tout écart de courant pour un maximum de 6 réchauffeurs connectés au relais.

Les processus de dépôt peuvent également nécessiter des éléments chauffants d'une puissance relativement faible (environ 500W à 750W), ce qui requiert un courant de commutation très faible. Les relais statiques de la série RP1A sont conçus dans un boîtier très fin (10,5 mm) et peuvent être montés directement sur un circuit imprimé ou, avec l'accessoire optionnel, peuvent également être montés sur un rail DIN, ce qui constitue une solution prête à l'emploi et peu encombrante.

Les processus de production de plaquettes de silicium consomment une quantité considérable d'énergie électrique. L'accent étant mis de plus en plus sur l'efficacité énergétique, les compteurs d'énergie sont de plus en plus intégrés dans les équipements de semi-conducteurs afin de permettre la surveillance de l'énergie de l'ensemble de l'équipement.
Nos compteurs montés sur rail DIN se caractérisent par leurs dimensions compactes et leur facilité d'utilisation, qu'il s'agisse d'une connexion externe à un transformateur de courant (CT) ou d'une connexion directe. Des compteurs d'énergie monophasés et triphasés sont disponibles.

Les analyseurs de puissance de la série WM ont une conception modulaire qui permet aux utilisateurs de sélectionner les fonctions requises en ajoutant un ou plusieurs modules à l'unité de base WM. Les WM20, WM30 et WM40 peuvent être installés dans n'importe quel tableau de distribution pour contrôler la consommation d'énergie, les principales variables électriques et la distorsion harmonique. Les modules enfichables comprennent des modules de communication tels que Modbus RTU, Modbus TCP/IP.

Les alimentations à découpage jouent un rôle essentiel dans l'alimentation de la plupart des composants critiques du panneau électrique de tout équipement à semi-conducteurs.
La série SPDC d'alimentations montées sur rail DIN offre un certain nombre de caractéristiques uniques telles qu'un design ultra-mince, un PFC intégré et des rendements allant jusqu'à 96%.
Les alimentations à découpage peuvent fonctionner sur une large gamme de tension d'entrée, tout en maintenant une tension de sortie DC très stable pour s'assurer que tous les composants critiques tels que les PLC et les HMI sont alimentés en toute sécurité.