Anlagen zur Gasphasenabscheidung (ALD, CVD, PECVD)

Kritische Prozesse erfordern ein schnelles Echtzeit-Feedback der verschiedenen Prozessvariablen. Wenn mehrere Heizelemente beteiligt sind, kann die Verwendung externer Messwandler zur Überwachung des Stroms viel Platz und Verdrahtungszeit in Anspruch nehmen. Das NRG ist eine skalierbare Halbleiterrelais-Lösung, die mit einem Busketten-Design arbeitet. Jedes Halbleiterrelais und/oder Halbleiterschütz verfügt über eine integrierte Strom- und Spannungsmessung sowie andere relevante Parameter. Alle diese Daten werden in Echtzeit mit einem Hauptcontroller, NRGC, ausgetauscht, der die Hauptschnittstelle zur Maschinen-SPS darstellt. Es stehen verschiedene Protokolle zur Verfügung, darunter EtherCAT, EtherNet/IP, Modbus TCP/IP und Profinet. Intelligente Diagnosen, wie z. B. die Lastabweichung, können auch die Abweichung des Heizelements von einem Sollwert aufzeigen und so einen möglichen Ausfall des Heizelements vorhersagen.

Proportionalregler, auch SCRs genannt, nehmen die Last der Umwandlung von analogen Signalen von Thermoelementen in digitale (PWM) Signale ab. Ein analoger Strom (0 - 20 mA, 4 - 20 mA) oder eine analoge Spannung (0 - 10 VDC) kann direkt in den Steuereingang des RGC1P, RGC2P oder RGC3P eingespeist werden, und die Ausgangsspannung für das Heizgerät ändert sich proportional. Diese Regelmethode führt zu einer sehr feinen Regelstrategie, die Temperaturüberschwinger minimiert.
Ein weiteres Merkmal der RGC.P-Produktfamilie ist die Softstart-Funktion. Der Softstart ist ideal für Anwendungen mit kurzwelligen Infrarotstrahlern (SWIR), da er den anfänglichen Einschaltstrom, der beim Einschalten von SWIR-Strahlern aus dem kalten Zustand auftritt, um >40% reduziert.

Depositionsanlagen haben in der Regel eine Reihe von 1-phasigen Heizelementen. Die Halbleiterschütze der Serie RGC haben ein schlankes und kompaktes Design, um den Platzbedarf in der Schalttafel zu minimieren.
Die RGC-Serie ist in zwei verschiedenen Anschlusskonfigurationen erhältlich, nämlich als "E-Typ", der die Konfiguration eines elektromechanischen Schützes nachahmt, und als "U-Typ", der auch als Relaiskonfiguration bezeichnet wird, da sich die Lastanschlüsse auf der gleichen Seite des Halbleiterschützes befinden. Der "U-Typ" wird manchmal bevorzugt, da er eine bessere Kabelverteilung in der Schalttafel ermöglicht.

Eine Unterbrechung der Heizung oder ein thermisches Durchgehen aufgrund eines Kurzschlusses der Heizung sind zwei kritische Probleme bei den meisten thermischen Prozessen. Ein offenes Heizelement führt zu einem Temperaturabfall innerhalb der Zone, während ein Kurzschluss des Heizelements zu einer unkontrollierten Heizzone führt, die erhebliche Waferdefekte und hohe Ausschusskosten verursachen kann.
Die Halbleiterrelais- und Schützserie RGC1S beinhaltet eine Stromüberwachung zur Erkennung von Heizungsausfällen. Basierend auf einer "Teach"-Funktion vergleicht das RGC1S den gemessenen Strom mit dem während der "Teach"-Funktion gespeicherten Strom und prüft für bis zu 6 an das Relais angeschlossene Heizelemente, ob eine Stromabweichung vorliegt.

Abscheidungsprozesse können auch Heizelemente mit relativ geringer Leistung (ca. 500W bis 750W) erfordern, wodurch ein sehr niedriger Schaltstrom benötigt wird. Die Halbleiterrelais der RP1A-Serie sind in einem sehr schlanken Gehäuse (10,5 mm) untergebracht und können direkt auf eine Leiterplatte montiert oder mit dem optionalen Zubehör auch auf einer DIN-Schiene befestigt werden, was zu einer Plug-and-Play-Lösung mit minimalem Platzbedarf führt.

Bei der Herstellung von Siliziumwafern wird eine beträchtliche Menge an elektrischer Energie verbraucht. Da die Energieeffizienz immer mehr in den Vordergrund rückt, werden Energiemessgeräte zunehmend in Halbleiteranlagen integriert, um die Energieüberwachung der gesamten Anlage zu ermöglichen.
Unsere Zähler für die DIN-Schienenmontage sind sowohl für den Anschluss an externe Stromwandler (CT) als auch für den direkten Anschluss geeignet und zeichnen sich durch ihre kompakten Abmessungen und einfache Handhabung aus. Es sind sowohl einphasige als auch dreiphasige Energiezähler erhältlich.

Die Netzanalysatoren der WM-Serie sind modular aufgebaut, so dass der Benutzer die gewünschten Funktionen durch Hinzufügen eines oder mehrerer Module zur WM-Basiseinheit auswählen kann. WM20, WM30 und WM40 können in jeder Schalttafel installiert werden, um den Energieverbrauch, die wichtigsten elektrischen Größen und die harmonische Verzerrung zu kontrollieren. Die Plug-in-Module umfassen Kommunikationsmodule wie Modbus RTU und Modbus TCP/IP.

Schaltnetzteile spielen eine entscheidende Rolle bei der Stromversorgung der meisten kritischen Komponenten im Schaltschrank von Halbleitergeräten.
Die SPDC-Serie von Stromversorgungen für die DIN-Schienenmontage bietet eine Reihe einzigartiger Merkmale, wie z.B. ein ultraschlankes Design, integrierte PFC und Wirkungsgrade von bis zu 96%.
Schaltnetzteile können mit einer Vielzahl von Eingangsspannungen arbeiten und sorgen für eine sehr stabile Ausgangsgleichspannung, um sicherzustellen, dass alle kritischen Komponenten wie SPS und HMIs sicher mit Strom versorgt werden.